Қысым датчигі - бұл қысымды өлшеу үшін болат, химиялық және басқа өрістерде қолдануға болатын қысым датчигі болып табылады және қысым реттегішпен бірге қолданған кезде автоматты қысыммен бақылауды жүзеге асыра алады.
Диффузиялық кремнийдің қысым датчигі / принципке кіріспе
Диффузиялық кремний қысымы даторы, допинг және диффузия арқылы біріктірілген процесстің әсерін қолдана отырып, бір кристалды кристалды вафлиде, силиконның кристалды вафлиінде, анизотропты микромахиндермен және диффекцияланған кремний сенсорының интеграциялануы бойынша интегралдық технологияны қолдана отырып, пьезорестивті әсердің принципіне негізделген Күшті сезімтал және күш-күшке конверсиялауды анықтау дайын.
Дифирленген кремнийдің қысым датчигісінің қысымы сенсордың диафрагмасына тікелей әсер етеді (тот баспайтын болат немесе керамика), диафрагманың ортаның қысымына микроқаржылықты және сенсордың кедергісінің мәнін тудырады. Электрондық тізбек осы өзгерісті анықтайды және оны түрлендіреді. Бұл қысымға сәйкес келетін стандартты сигнал шығару.
Диффузиялық кремнийдің қысым сенсорының ерекшеліктері
1. Шағын таратқыштар жасауға жарамды
Кремний чипінің күш-сезімтал резисторының пьезориялық әсері төмен деңгейде өлі аймақ жоқ, ал нөлдік нүктеге жақын жерде өлі аймақ жоқ, ал қысым датчигінің ауқымы бірнеше кПА-ға ұқсайды.
2. Жоғары шығыс сезімталдығы
Кремнийдің төзімділігінің сезімталдық коэффициенті металл штамм өлшегіштерден 50-ден 100 есе жоғары, сондықтан сәйкес сенсордың сезімталдығы өте жоғары, ал жалпы диапазон өндірісі шамамен 100 мВ құрайды. Сондықтан интерфейс тізбегіне қойылатын арнайы талаптар жоқ, және оны пайдалану ыңғайлы.
3. Жоғары дәлдік
Сенсация, сезімтал конверсия және сенсорды анықтау сол компоненттен алынғандықтан, аралық түрлендіру сілтемесі жоқ, ал қайталанулар мен гистерезис қателері аз. Монокристалды кремнийдің өзі жоғары қаттылық пен кіші деформацияға ие болғандықтан, жақсы сызықтық қамтамасыз етілген.
4. Микротриннің ревенциялық деформациясы төмен болғандықтан, серпімді чиптің максималды жылжуы төмен болғандықтан, субсидиялы, шаршау, қартаю жоқ, ал қартаю жоқ, және өмір сүру ұзақтығы 1 × 107 қысым циклы, тұрақты және жоғары сенімділігі бар.
5. Кремнийдің керемет химиялық коррозияға төзімділігіне байланысты, тіпті оқшауланбаған кремнийдің қысым датчиктеріне де әртүрлі бұқаралық ақпарат құралдарына бейімделу қабілеті айтарлықтай дәрежеде.
6. Чип интеграцияланған процесті қабылдағандықтан және беріліс компоненттері жоқ, ол аз мөлшерде және салмағы аз.
Қолдану үшін кремнийді қысым датчие сақтық шаралары
1.Мен артық немесе астындағы диапазонда таңдалғанда, амплитудасы ± 30% FS ішінде бақылау керек.
2. Қысым режимі өлшеу қысымына, абсолютті қысымға және тығыздау қысымына бөлінеді, оны қажеттіліктерге сай таңдауға болады.
3. Жүйенің максималды шамадан тыс жүктелуін растаңыз. Жүйенің максималды шамадан тыс жүктелуі сенсордың шамадан тыс жүктелуінен аз болуы керек, әйтпесе ол өнімнің қызмет ету мерзіміне әсер етеді және тіпті бұйымды зақымдауы мүмкін.
4. Диафрагманы кез-келген қатты заттармен ұстамаңыз, әйтпесе ол диафрагманың жарылуына әкеледі.
5. Теріс қысымның материалы мен процесі оң қысыммен бірдей емес, сондықтан теріс қысым өзегін өлшеу қысымының өзегіне ауыстыруға болмайды.
6. Орнатпас бұрын нұсқаулықты мұқият тексеріп, дұрыс орнатылмаған өнімнің зақымдалмас үшін алдын-ала тексеріңіз.
7.Мепроперді пайдалану қауіп пен адам жарақатына әкелуі мүмкін.
8. Корпус корпусынан шығарылады және сымдарды және түтік аяғын алуға тыйым салынады.
Диффузиялық кремнийдің қысым сенсоры
Дифмессивті кремний қысым датчигі негізінен технологиялық жүйелер, қысыммен калибрлеу құралдарында, гидравликалық жүйелерде, гидравликалық жүйелерде, биомедициналық құралдармен, гидравликалық жүйелермен және клапандарда, сұйық деңгейін өлшеу, тоңазытқыштар және HVAC бақылау салаларында қолданылады. Автоматтандырылған барлық салаларда барлық салалар бөлінген кремнийдің қысым датчиктерін қолдана алады деп айтуға болады.
POST уақыты: AUG-15-2022