Соңғы жылдары менің елім сенсорлық технологиясы қарқынды дамуда, және оны қолдану өрістері де кеңейіп жатыр. Заманауи өлшеу технологиясының ең жетілген түрі, жаңа технологиялар, жаңа материалдар, жаңа материалдар мен жаңа процестер қысым датчиктерінде үнемі пайда болады.
Қысым сенсоры - бұл қысым сигналдарын табу және оларды белгілі бір ережелерге сәйкес электр сигналдарына түрлендіру үшін қолданылатын құрылғы. Ол әртүрлі өндірістік, өндірістік және аэроғарыштық өрістерде кеңінен қолданылады. ° C) сәтсіздікке ұшырайды, нәтижесінде қысымның бұзылуы мүмкін. Сондықтан, жоғары температуралы қысым сенсоры өте маңызды зерттеу бағыты болады.
Жоғары температураның жіктелуіҚысым датчиктері
Пайдаланылған әр түрлі материалдарға сәйкес, жоғары температуралы қысым датчиктеріне жоғары температуралы қысым датчировкалар, SIC жоғары температуралы қысым датчировкалар, SOS (семірон) SOS (семірон) жоғары температуралы талшықтар және басқа да түрлі типтер. SOI Жоғары температуралы қысым датчиктері өте өте өте жақсы. Төменде олар көбінесе жоғары температуралы қысым сенсорын ұсынады.
SOI Жоғары температуралы қысым сенсоры
Soi-дің жоғары температуралы қысым датчиктерінің дамуы негізінен оқшаулағыштағы кремний болып табылады, ол негізінен оқшаулағыш қабат пен SiO2-дің SII-дің SI-дің SI-дің SI-дің SI-ге жатады. Silicon, және Soi құрылғысы қабатының жоғары температуралық сипаттамаларына байланысты, ол жоғары температуралы қысым датчиктерін дайындаудың тамаша материалына айналады.
Қазіргі уақытта SOI-дің жоғары температуралы қысым датчигі шетелде сәтті дамыды, ал жұмыс температурасы -55 ~ 480 ° C; -55 ~ 500 ° C және Америка Құрама Штаттарындағы Goodrich Advanced Sensor Technology компаниясы дамыған жоғары температуралы қысым датчигі; Француз Лете Институт әзірлеген жоғары температуралы қысым сенсоры, сонымен қатар 400 ° C-тан асады. Сонымен қатар, FATRI FATRI FATRI озық Технологиялық зерттеулер институты да қатысты зерттеулер жүргізуде, сонымен қатар қазіргі жоба демонстрациялық кезеңге өтті.
Soi жоғары температуралы қысым датчигін жұмыс принципі
Принцип, Soi жоғары температуралы қысым сенсоры негізінен кристалды кристаллдың пьезориялық әсерін қолданады, өйткені бұл өз кезегінде кристалдың торы да әсер етеді, бұл өз кезегінде кремний кристалының кедергісінің өзгеруіне әкеледі, нәтижесінде пьесореористорлардың өзгеруі мүмкін 2-суретте көрсетілгендей, бидай тасты көпірін қалыптастыру үшін жоғарғы құрылғы қабаты; Қысымдағы қуыс қысымға сезімтал құрылымды қалыптастыру үшін SOI субстрат қабатына бекітіледі.
2-сурет (a) Бидай тасты көпірі
Қысым сезімтал құрылым ауа қысымына ұшыраған кезде, пьезореористордың кедергісі өзгерген кезде, бұл өз кезегінде шығыс кернеудің өзгеруіне әкеледі, ал қысым мәні шығыс кернеу мәні мен пьезореористордың қарсыласуы арқылы өлшенеді.
SOI жоғары температуралы қысым датчигін жасау процесі
SOI жоғары температуралы қысым датчигін дайындау процесі бірнеше мемстарды қамтиды. Датчикті, негізінен пьезористік дайындық, металл қорғасын дайындау, қысымға сезімтал пленкалау және қысым камерасының орамындағы кейбір негізгі қадамдар қысқаша енгізілген.
Варисторларды дайындаудың кілті допинг концентрациясын бақылауда және кейіннен қалыптау процесін оңтайландыруда жатыр; Металл қорғасын қабаты негізінен, бидай тасты көпірінің байланысы болып табылады; Қысымды сезімтал пленканы дайындау негізінен терең кремнийді алу процесіне сүйенеді; Қуысының орамасы әдетте қысым датчигін қолдануға байланысты өзгереді,
Ағымдағы коммерциаландырылған жоғары температуралы қысым сенсорлары жоғары температуралы мұнай ұңғымалары мен аэроқабақтар сияқты, жоғары температуралы қысым датчиктері сияқты, болашақ зерттеулер оның арнайы құрылымы мен жоғары температуралық сипаттамаларына сәйкес келмейді, сондықтан жоғары температуралы қысым датчиктері үшін тамаша материалдар. Soi жоғары температуралы қысым датчиктеріндегі болашақ зерттеулер жоғары деңгейлі тұрақтылықты және жоғары температуралы қатал ортадағы сенсорлардың өзін-өзі жылыту мәселелерін шешуге және қысым датчиктерінің дәлдігін жақсартуға бағытталуы керек. аспект.
Әрине, зияткерлік дәуірдің пайда болуы сонымен қатар жоғары температуралы экологиялық қысымның миссиясын жақсарту үшін өздігінен өтемақы, өзін-өзі калибрлеу және ақпараттық сақтау сияқты интеллектуалды функцияларды тудыратын жоғары температуралы температуралы қысымдар қажет. .
POST TIME: MAR-03-2023